昙曜五窟现编号第16-20窟，是由昙曜和尚主持开凿的第一期窟洞，也是云冈石窟最引人注目的部分之一。以道武、明元、太武、景穆、文成五帝为楷模，雕刻5尊大像。这五窟规模宏大，气魄雄伟。形制上共同特点是外壁满雕千佛，大体上都摹拟椭圆形的草庐形成，无后室。造像主要是三世佛（过去、未来、现在），主佛形体高大，占窟内主要位置。

第16窟本尊释迦立像高13.5米，面相清秀，英俊潇洒。第17窟正中为菩萨装的交脚弥勒坐像，高15.6米，窟小像大，咄咄逼人。第18窟本尊为身披千佛袈裟的释迦立像，高15.5米，气势磅礴；东壁上层的众弟子造像造型奇特，技法娴熟。第19窟本尊为释迦坐像，高16.8米，为云冈石窟的代表作，结跏趺坐，面部半圆，深目高鼻，眼大唇薄，大耳垂肩，两肓齐挺，造型雄伟，气势浑厚。